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商業(yè)生產(chǎn)中,有兩種激光技術可用于激光鉆孔。CO2激光波長在遠紅外線波段內(nèi),紫外線激光波長在紫外線波段內(nèi)。CO2激光廣泛應用在印制電路板的工業(yè)微通孔制作中,要求微通孔直徑大于100μm (Raman , 2001) 。對于這些大孔徑孔的制作, CO2激光具有很高的生產(chǎn)力,這是因為CO2激光制作大孔所需的沖孔時間非常短。紫外線激光技術廣泛應用在直徑小于100μm 的微孔制作中,隨著微縮線路圖的使用,孔徑甚至可小于50μm 。紫外線激光技術在制作直徑小于80μm 的孔時產(chǎn)量非常高。因此,為了滿足日益增加的微孔生產(chǎn)力的需求,許多制造商已經(jīng)開始引入雙頭激光鉆孔系統(tǒng)。-以下就是當今市場用雙頭激光鉆孔系統(tǒng)的三種主要類型:
1)雙頭紫外線鉆孔系統(tǒng);
2) 雙頭CO2激光鉆孔系統(tǒng);
3) 棍合激光鉆孔系統(tǒng)( CO2和紫外線)。
所有這些類型的鉆孔系統(tǒng)都有其自身的優(yōu)點和缺點。激光鉆孔系統(tǒng)可以簡單地分成兩種類型,雙鉆頭單一波長系統(tǒng)和雙鉆頭雙波長系統(tǒng)。不論是哪種類型,都有兩個主要部分影響鉆孔的能力:
1 )激光能量/脈沖能量;
2) 光束定位系統(tǒng)。
激光脈沖的能量和光束的傳遞效率決定了鉆孔時間,鉆孔時間是指激光鉆孔機鉆一個微通孔的時間,光束定位系統(tǒng)決定了在兩個孔之間移動的速度。這些因素共同決定了激光鉆孔機制作給定要求的微通孔的速度。雙頭紫外線激光系統(tǒng)適于用在集成電路中小于90μm 的鉆孔,同時其縱橫比也很高。
雙頭CO2激光系統(tǒng)使用的是調(diào)Q射頻激勵CO2激光器。這種系統(tǒng)的主要優(yōu)點是可重復率高(達到了100kHz) 、鉆孔時間短、操作面寬,只需要射很少幾下就可以鉆一個盲孔,但是其鉆孔質(zhì)量會比較低。
使用普遍的雙頭激光鉆孔系統(tǒng)是混合激光鉆孔系統(tǒng),它由一個紫外線激光頭和一個CO2 激光頭組成。這種綜合運用的混合激光鉆孔方法可以便銅和電介質(zhì)的鉆孔同時進行。即用紫外線鉆銅,生成所需要孔的尺寸和形狀,緊接著用CO 2 激光鉆無遮蓋的電介質(zhì)。鉆孔過程是通過鉆2in X 2in 的塊完成的,此塊叫做域。
CO2 激光有效地除去電介質(zhì),甚至是非均勻玻璃增強電介質(zhì)。然而,單一的CO2 激光不能制作小孔(小于75μm) 和除去銅,也有少數(shù)例外,那就是它可以除去經(jīng)過預先處理的5μm 以下的薄銅箔(lustino , 2002) 。紫外線激光能夠制作非常小的孔,且可以除去所有普通的銅街(3 - 36μm , 1oz ,甚至電鍍銅箔)。紫外線激光也可以單獨除去電介質(zhì)材料,只是速度較慢。而且,對于非均勻材料,例如增強玻璃FR -4,效果通常不好。這是因為只有能量密度提高到一定程度,才可以除去玻璃,而這樣也會破壞內(nèi)層的焊盤。由于棍合激光系統(tǒng)包括紫外線激光和CO 2 激光,因此其在兩個領域內(nèi)都能達到佳,用紫外線激光可以完成所有的銅箔和小孔,用CO 2 激光可以快速地對電介質(zhì)進行鉆孔。圖10-14 給出了可編程鉆距的雙頭激光鉆孔系統(tǒng)的結構圖,兩個鉆頭之間的間距可根據(jù)元器件的布局自行調(diào)整,這保證了大的激光鉆孔能力。
現(xiàn)在,大多數(shù)雙頭激光鉆孔系統(tǒng)中兩個鉆頭之間的間距都是固定的,同時具有步進-重復光束定位技術。步進,重復激光遠程調(diào)節(jié)器本身的優(yōu)點是域的調(diào)節(jié)范圍大(達到了(50 X 50)μm) 。缺點是激光遠程調(diào)節(jié)器必須在固定的域內(nèi)步進移動,而且兩個鉆頭之間的間距是固定的。典型的雙頭激光遠程調(diào)節(jié)器兩個鉆頭之間的距離是固定的(大約為150μm) 。對于不同的面板尺寸,固定距離的鉆頭不能像可編程間距的鉆頭那樣以佳配置完成操作。
如今,雙頭激光鉆孔系統(tǒng)有著各種不同規(guī)格的性能,既能夠適用于小型印制電路板制造廠商,同時也適用于大批量生產(chǎn)的印制電路板制造廠商。
由于陶瓷氧化鋁有很高的介質(zhì)常數(shù),因此用于制造印制電路板。然而,由于其易碎、布線和裝配時所需的鉆孔過程用標準工具就很難完成,因為此時機械壓力必須減小到小,這對激光鉆孔卻是一件好事。Rangel 等人( 1997) 證明對于氧化鋁基板以及覆有金和錨的氧化鋁基板,可使用調(diào)QNd: YAG 激光器進行鉆孔。使用短脈沖、低能量、高峰值功率的激光器有助于避免機械壓力對樣本的破壞,能夠制造出孔徑小于100μm 的優(yōu)質(zhì)通孔。這種技術成功地應用在低噪聲微波放大器中,其頻率范圍為8 - 18GHz (Betancourt 等人, 1996) 。
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